半导体领域:占比 28%,用于晶圆制造的金属互联层与钝化层沉积,在第三代半导体器件制造中的渗透率持续攀升,如氮化镓功率器件就需要使用铟靶。
光伏产业:占比 15%,应用于薄膜太阳能电池的透明电极,如铜铟镓硒(CIGS)薄膜电池、光伏异质结电池(HJT)等,随着这些电池技术的产业化进程加速,对铟靶的需求也在不断增加。
优异的光学性能:在可见光波段(380-780nm)内,ITO 薄膜的透光率通常能够达到 80% 以上,高透光率确保了其在显示器、太阳能电池等应用中的良好表现。
粉末冶金法:将铟氧化物和锡氧化物粉末均匀混合,随后进行预烧结,以获得初步的靶材结构。预烧结步骤通常在相对低温下进行,目的是通过部分熔融促进粉末颗粒的结合,同时防止过早的晶粒长大。粉体粒径分布的控制是该方法中的关键一环。